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HiPIMS電源磁控濺射電源高穩(wěn)定度直流電源偏壓電源離子注入電源離子源電源等離子弧電源離子束電源

核心技術

恒功率輸出特性功率因數(shù)校正本質性抑弧滅弧滿足EMC標準行業(yè)領先電源效率

行業(yè)解決方案

光伏產業(yè) 半導體制造高端裝飾鍍膜玻璃鍍膜工業(yè)工具新材料制造

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磁控濺射電源

高穩(wěn)定度直流電源

離子注入電源

離子源電源

等離子弧電源

離子束電源

等離子弧電源

Multi Arc Power Supply

精新電源出產的等離子弧電源在傳統(tǒng)的弧電源基礎上，通過獨創(chuàng)的延面擊穿方式引弧，克服了傳統(tǒng)蒸發(fā)鍍工藝中需要使用鎢絲等材料引弧而對膜層造成污染等問題。

JX-AM-D直流多弧離子鍍

適用于硬質鍍膜、裝飾鍍膜、軍工鍍制高溫熱障涂層

JX-AM-P單極脈沖多弧離子鍍

本電源已結合電子引弧電源和磁場掃描電源，可實現(xiàn)氧化膜金屬靶不中毒、不熄弧

JX-AM-DP直流疊加脈沖

適用于輔助陰極弧工藝，在鍍硬質膜、DLC膜等工藝中有優(yōu)異表現(xiàn)

JX-AM-HP高功率脈沖

峰值電流可達10000A，適用于半導體DLC涂層或離子注入等高要求工藝

JX-AM-FM多功能多弧離子鍍

三種輸出脈沖波形，增加脈沖波形選擇靈活性。